產品特性:
硅晶圓研磨砂輪:該系列產品包括樹脂結合劑和陶瓷結合劑兩類,陶瓷結合劑砂輪主要用于粗磨加工,樹脂結合劑砂輪主要用于精磨加工。
碳化硅晶圓研磨砂輪:產品由高剛性鋁合金基座和自制特殊陶瓷結合劑金剛石刀頭組成,具有高自銳性、高鋒利性、高穩(wěn)定性等優(yōu)良特性,特別適合高硬度SIC晶圓的減薄加工。
加工對象:
硅晶圓研磨砂輪:分立器件、集成電路襯底硅片及原始硅片等。
碳化硅晶圓研磨砂輪:SIC晶圓。
技術特征:
硅晶圓研磨砂輪:
· 采用高剛性的陶瓷結合劑與大粒度磨粒相結合,適用于粗研磨加工。
·多孔的容屑和冷卻作用,改善磨削條件,提高工件磨削質量、磨削效率。
·采用樹脂結合劑,適用于Si晶圓的精磨加工。
·結合劑富有彈性,大幅度降低對晶圓的損傷;良好的自銳性和研削能力,改善了工件厚度精度,提升眼膜去除率。
碳化硅晶圓研磨砂輪:
· 有氣孔陶瓷結合劑實現高研削性能。
· 結合劑的軟硬可做細微調整。
· 超細的金剛石磨粒,可獲得低損傷和低表面粗糙度的晶圓。
· 多種粒度選擇,可以滿足粗磨、精磨的加工要求。
訂購建議:
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產品特性:
硅晶圓研磨砂輪:該系列產品包括樹脂結合劑和陶瓷結合劑兩類,陶瓷結合劑砂輪主要用于粗磨加工,樹脂結合劑砂輪主要用于精磨加工。
碳化硅晶圓研磨砂輪:產品由高剛性鋁合金基座和自制特殊陶瓷結合劑金剛石刀頭組成,具有高自銳性、高鋒利性、高穩(wěn)定性等優(yōu)良特性,特別適合高硬度SIC晶圓的減薄加工。
加工對象:
硅晶圓研磨砂輪:分立器件、集成電路襯底硅片及原始硅片等。
碳化硅晶圓研磨砂輪:SIC晶圓。
技術特征:
硅晶圓研磨砂輪:
· 采用高剛性的陶瓷結合劑與大粒度磨粒相結合,適用于粗研磨加工。
·多孔的容屑和冷卻作用,改善磨削條件,提高工件磨削質量、磨削效率。
·采用樹脂結合劑,適用于Si晶圓的精磨加工。
·結合劑富有彈性,大幅度降低對晶圓的損傷;良好的自銳性和研削能力,改善了工件厚度精度,提升眼膜去除率。
碳化硅晶圓研磨砂輪:
· 有氣孔陶瓷結合劑實現高研削性能。
· 結合劑的軟硬可做細微調整。
· 超細的金剛石磨粒,可獲得低損傷和低表面粗糙度的晶圓。
· 多種粒度選擇,可以滿足粗磨、精磨的加工要求。