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    CXS系列旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體清洗設(shè)備-甩干機(jī)-多片甩干機(jī)

    庫(kù)       存:

    10

    產(chǎn)       地:

    全國(guó)

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
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    品牌:

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體清洗設(shè)備-甩干機(jī)-多片甩干機(jī)

    CXS系列旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)主要用于硅圓片、光刻版等類似材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝,適用于2-12英寸晶圓,LXS系列旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)主要用于材料加工、太陽(yáng)能電池片、分立器件等行業(yè)、單臺(tái)產(chǎn)量大、效率高。

    采用高性能可編程控制器實(shí)現(xiàn)邏輯控制

    采用彩色液晶漢顯監(jiān)控,可存儲(chǔ)百種用戶工藝菜單

    結(jié)構(gòu)采用潔凈化處理技術(shù)

    去離子水電阻率監(jiān)控

    防靜電控制

    氮?dú)鉁囟瓤刂?/span>

    腔體溫度控制

    轉(zhuǎn)軸氮?dú)饷芊?/span>

    無(wú)刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)

    旋轉(zhuǎn)載體定位

    故障診斷,顯示及報(bào)警

    CXS系列型號(hào)說(shuō)明

    CXS系列型號(hào)特征與設(shè)備性能、功能的對(duì)應(yīng)關(guān)系


        




     



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