服務(wù)熱線(xiàn)
4006988696
項(xiàng)目
|
參數(shù)
|
極限真空
|
低于9.0E-5pa
|
恢復(fù)真空
|
10min內(nèi)達(dá)到3.0E-3pa
|
保真空
|
低于9.0E-2pa
|
溫度均勻性
|
280℃±10℃(30min加熱后)
|
成膜均勻性
|
小于5nm
|
成膜再現(xiàn)性
|
小于5nm
|
成膜控制
|
專(zhuān)業(yè)全自動(dòng)軟件控制
|
購(gòu)買(mǎi)之前,如有問(wèn)題,請(qǐng)向我們咨詢(xún)