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    NeuTech真空光學鍍膜機

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設備-鍍膜設備-電子束蒸發(fā)

    庫       存：

    10

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
    交易保障 擔保交易 網(wǎng)銀支付
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    品牌：

    型號：

    所屬系列：半導體加工設備-鍍膜設備-電子束蒸發(fā)

     品牌：NeuTech
    型號：1300
    規(guī)格：內(nèi)腔1300
    重量：3000KG
    外形尺寸：內(nèi)徑1300
    標準箱數(shù)：1臺
    特點：
    1. 中外技術整合
    2. 基于20年使用經(jīng)驗，從使用者角度出發(fā)的全新設計
    3. 一流性價比
    4. 60%進口零部件，產(chǎn)品質(zhì)量重點保證
    5. 產(chǎn)品主要參數(shù)：
    項目
    參數(shù)
    極限真空
    低于9.0E-5pa
    恢復真空
    10min內(nèi)達到3.0E-3pa
    保真空
    低于9.0E-2pa
    溫度均勻性
    280℃±10℃（30min加熱后）
    成膜均勻性
    小于5nm
    成膜再現(xiàn)性
    小于5nm
    成膜控制
    專業(yè)全自動軟件控制

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