Spin Coater or Spin Processor：勻膠機(jī)、甩膠機(jī)、涂膠機(jī)、涂層機(jī)、勻膜機(jī)、涂膜機(jī)、涂層儀、旋涂儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、旋轉(zhuǎn)涂敷儀、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)鍍膜機(jī)、光阻旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)等，主要用于液體、膠體在材料表面高均勻度薄膜的形成。CHINAPONY^TM  公司研發(fā)的Spin Coater、Spin Processor適用于半導(dǎo)體行業(yè)、微電子領(lǐng)域新型材料【硅片、陶瓷、玻璃、載玻片、晶片、砷化鎵、不銹鋼等材質(zhì)基底材料】的制版及表面涂覆、薄膜制備等工藝，應(yīng)用于大專院校、科研機(jī)構(gòu)及相關(guān)行業(yè)生產(chǎn)型企業(yè)等單位作教學(xué)、科研、生產(chǎn)之用，為微電子、光電子及太陽能電池研制領(lǐng)域中不可缺少的關(guān)鍵設(shè)備之一。CHINAPONY^TM公司的Spin Coaters、Spin Processors遍布全球著名的高等院校、科研院所和相關(guān)行業(yè)生產(chǎn)型企業(yè)的研發(fā)與生產(chǎn)中心，為全球范圍內(nèi)使用頻率最高的Spin Coaters、Spin Processors。

1、面對(duì)高端用戶嚴(yán)格苛刻工作需求的高智能旋涂儀。

2、增強(qiáng)聚丙烯（reinforced polypropylene，簡稱RPP）材質(zhì)構(gòu)造：極佳的物理性能和化學(xué)穩(wěn)定性--無毒、無臭、無味，耐水蒸汽性、耐化學(xué)腐蝕性和耐蠕變性等更加優(yōu)越性能。

3、11英寸和14英寸兩種不同規(guī)格內(nèi)徑桶狀處理工作腔體。

4、三種不同外形形式結(jié)構(gòu)：臺(tái)式一體式、分離式、特殊環(huán)境內(nèi)置式；可選擇臺(tái)面式，和用于濕站或者手套箱系統(tǒng)的不同構(gòu)造。

5、內(nèi)置高精度真空度傳感器。  

6、可選三種不同工作狀態(tài)：真空吸附、盤式裝片、真空盤式。 

7、可編程的雙語程序控制系統(tǒng)；轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度精確至±0.1 %，最高轉(zhuǎn)速可達(dá)10000RPM。

8、本系列機(jī)身設(shè)計(jì)可拓展為自動(dòng)滴膠型，即自動(dòng)滴膠-旋涂儀；

9、面對(duì)實(shí)驗(yàn)室嚴(yán)格苛刻條件需求，本機(jī)已配備惰性氣體設(shè)計(jì)；

10、面對(duì)相關(guān)行業(yè)需求還可增加去邊（刮邊）功能； 

1、高智能數(shù)碼控制器：

2、全球獨(dú)創(chuàng)的“真空吸附、盤式裝片與真空盤式”三種不同工作狀態(tài)完美結(jié)合卻又完全細(xì)分.

（1）真空吸附

真空吸附工作狀態(tài)：配置高性能無油真空幫浦系統(tǒng)。由于內(nèi)置高靈敏真空度傳感器，智能程序控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)檢測(cè)旋涂工藝過程真空度，使吸附中的Wafer更加堅(jiān)固、最大可能避免了甩片導(dǎo)致實(shí)驗(yàn)失敗的現(xiàn)象；本機(jī)在啟動(dòng)時(shí)，若操作系統(tǒng)真空度未達(dá)所需標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)，智能控制系統(tǒng)具有自動(dòng)停機(jī)保護(hù)性能，避免Wafer的破損和膠液的浪費(fèi)。

（2）盤式裝片

盤式裝片工作狀態(tài)：無需高性能真空幫浦系統(tǒng)即可工作。不僅方便小巧輕薄的基底材料同時(shí)亦非常適合大面積和笨重厚重的基底材料涂敷工作，并且完全涂敷基底材料所有表面，非常方便特殊基底材料涂敷。

（3）真空盤式

真空盤式工作狀態(tài)：將真空吸附和盤式裝片工作狀態(tài)結(jié)合，即同時(shí)配置高性能真空幫浦系統(tǒng)與特殊真空裝片盤工作，同時(shí)擁有真空吸附和盤式機(jī)構(gòu)的優(yōu)勢(shì)，使工作中的Wafer更加安全可靠。

 

小巧、輕薄、大面積、厚重或笨重的基底材料：一次性提供最完美的全方位解決涂敷工作方案！

3、高性能伺服電機(jī)，轉(zhuǎn)速更高、精度更精確.

4、機(jī)身設(shè)計(jì)可拓展為自動(dòng)滴膠型，即自動(dòng)滴膠-旋涂儀；

5、面對(duì)實(shí)驗(yàn)室嚴(yán)格苛刻條件需求，本機(jī)配備惰性氣體設(shè)計(jì)；

6、面對(duì)相關(guān)行業(yè)需求還可增加去邊（刮邊）功能；

 

電源電壓：100V/ 60Hz 或110V/ 60Hz 或220V/ 50Hz

旋轉(zhuǎn)涂敷：300 - 10000 r/min ；勻膠時(shí)間：1---9999秒

轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性： ±0.1 %       ；最高轉(zhuǎn)速：10000 RPM

基底材料適用范圍：

（1）11英寸的RPP材質(zhì)內(nèi)徑桶狀處理腔體適合10英寸及以下和（7英寸*7英寸）180mm*180mm及以下規(guī)格的基底材料（如Wafer等）工作。

（2）14英寸的RPP材質(zhì)內(nèi)徑桶狀處理腔體適合13英寸及以下規(guī)格的基底材料（如Wafer等）工作。

 

本機(jī)同時(shí)在歐州、美國、大中華區(qū)（含新加坡、臺(tái)灣、香港、澳門）等區(qū)域營銷服務(wù)，為方便全球各區(qū)域用戶語言使用習(xí)慣操作，因此在本機(jī)中設(shè)置存儲(chǔ)了中文和英文兩種全球主要官方語言程序。

                                                                                                  原裝附機(jī)設(shè)備與配件：

1、高性能無油真空幫浦

2、高性能滴膠機(jī)

3、真空吸盤：所選材質(zhì)為聚四氟乙烯，具有抗酸堿抗各種有機(jī)溶劑、耐高低溫、電絕緣性、無毒害、摩擦系數(shù)極低，可防止涂敷工作過程中任何膠液粘附。

4、特殊裝片盤 （選配）

5，可增加去邊功能（選配）

全套原裝標(biāo)準(zhǔn)化配件，原廠服務(wù)、使用效果更加保障。

6，高性能空氣壓縮機(jī)

原裝配件優(yōu)中選優(yōu)，使用壽命更長、性能更優(yōu)。

國際專業(yè)化設(shè)計(jì)，與科研工作環(huán)境相匹配、安全可靠、體驗(yàn)人本科技。

國際專業(yè)化制造，材質(zhì)優(yōu)中選優(yōu)，性能穩(wěn)定出色。

國際專業(yè)化檢測(cè)，標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)格，國際質(zhì)量。

 

全球首度整合真空吸附與盤式裝片工作狀態(tài)，高強(qiáng)度材料、集多項(xiàng)尖端技術(shù)一體化集成。智能化操作，加之整體考究配套，使之性能更加安全、穩(wěn)定、可靠！

 

創(chuàng)新與經(jīng)典完美結(jié)合，氣質(zhì)非凡，雍容華貴.

下面請(qǐng)您根據(jù)需要涂敷基底材料的大小選擇相應(yīng)的旋涂儀型號(hào)：

 顏色：白灰色

CPN-SC-ISO5560CE    

1、RPP材質(zhì)構(gòu)造臺(tái)式一體化，即桶狀處理工作腔體與高智能數(shù)碼控制器一體；

2、11英寸內(nèi)徑桶狀處理工作腔體；

3、可涂敷10英寸及以下和180mm*180mm（7英寸*7英寸）及以下規(guī)格的Wafer工作；

4、最普遍常用型號(hào)最受歡迎的旋轉(zhuǎn)涂敷儀系統(tǒng)；

CPN-SC-ISO5580CE    

1、RPP材質(zhì)構(gòu)造臺(tái)式一體化，即桶狀處理工作腔體與高智能數(shù)碼控制器一體；

2、14英寸內(nèi)徑桶狀處理工作腔體；

3、可涂敷13英寸以下規(guī)格的Wafer工作；

4、超越全球最大Wafer尺寸的工作范圍（14英寸）；

                                                                                                                                                                                         

CPN-SC-ISO6560CE    

1、RPP材質(zhì)構(gòu)造同時(shí)外置式帶高智能遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)，即桶狀處理工作腔體與高智能數(shù)碼控制器分離設(shè)置；

2、11英寸內(nèi)徑桶狀處理工作腔體；

3、可涂敷10英寸及以下和180mm*180mm（7英寸*7英寸）及以下規(guī)格的Wafer工作；

 

CPN-SC-ISO6580CE     

1、RPP材質(zhì)構(gòu)造同時(shí)外置式帶高智能遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)，即桶狀處理工作腔體與高智能數(shù)碼控制器分離設(shè)置；

2、14英寸內(nèi)徑桶狀處理工作腔體；

3、可涂敷13英寸以下規(guī)格的Wafer工作；

4、超越全球最大Wafer尺寸的工作范圍（14英寸）；

                                                     

CPN-SC-ISO8560CE     

1、RPP材質(zhì)構(gòu)造同時(shí)內(nèi)置式帶高智能遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)，即桶狀處理工作腔體在特殊環(huán)境下可以內(nèi)置式安裝，同時(shí)工作腔體與高智能數(shù)碼控制器分離設(shè)置；

2、11英寸內(nèi)徑桶狀處理工作腔體；

3、可涂敷10英寸及以下和180mm*180mm（7英寸*7英寸）及以下規(guī)格的Wafer工作；

CPN-SC-ISO8580CE     

1、RPP材質(zhì)構(gòu)造同時(shí)內(nèi)置式帶高智能遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)，即桶狀處理工作腔體在特殊環(huán)境下可以內(nèi)置式安裝，同時(shí)工作腔體與高智能數(shù)碼控制器分離設(shè)置；

2、14英寸內(nèi)徑桶狀處理工作腔體；

3、可涂敷13英寸及以下規(guī)格的Wafer工作；

4、超越全球最大Wafer尺寸的工作范圍（14英寸）；

                                                     

高性能無油真空幫浦：

優(yōu)勢(shì)：

超低真空，超低靜音，體積輕巧，外形美觀，結(jié)構(gòu)簡單，維修容易，更易保養(yǎng)，完全無油氣，環(huán)保，保持工作環(huán)境免受污染。

 

國際標(biāo)準(zhǔn)：真空幫浦鋁合金材質(zhì)構(gòu)造 

安全：風(fēng)扇處外置式風(fēng)扇蓋，完全將在工作狀態(tài)下可能雜物進(jìn)入風(fēng)扇處而引起的不安全因素排除。

幫浦表面處理按中國臺(tái)灣行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)處理：噴亮漆

額定電壓/頻率 V/Hz：100V/60Hz 或110V/60Hz 或220V/50Hz

熱保護(hù)器℃：自動(dòng)復(fù)位130±5℃

最大真空度KPa：-740mmHg 

最大空氣流量 m3/h：6.0m3/h      

使用環(huán)境溫度 ℃：5-40℃

絕緣等級(jí)：B

冷態(tài)絕緣電阻（常態(tài)）MΩ：≥100MΩ

耐電壓強(qiáng)度：1500V/50Hz 1min無擊穿

                                               

高性能滴膠機(jī)：

滴膠機(jī)采用數(shù)碼LED顯示，按鍵設(shè)定滴膠時(shí)間。能夠完成精確，一致的滴膠控制。

進(jìn)氣壓力：60-100 PSI.

電源電壓：100--240 V                  

 

指標(biāo)參數(shù)：

電源：AC 220V±10%/50Hz 【 AC 110V±10%/60Hz（可以內(nèi)部轉(zhuǎn)換）】

消耗功率：<8W

空氣源：最大0.99MPa （潔凈無潤滑的干燥空氣）

吐出壓力調(diào)節(jié)范圍：0.05MPa--0.99MPa

吐出時(shí)間調(diào)節(jié)范圍：可調(diào)整DIP程式開關(guān)組合得到多種時(shí)間模式

　　　　　　　　　0.01秒-1秒;0.1-10秒;0.2-20秒;0.3-30秒

功能模式：手動(dòng)模式/半自動(dòng)模式（定量吐出）

真空回吸功能：可調(diào)節(jié)負(fù)壓控制至600毫米汞柱

重復(fù)精度及吐出頻率：精度：±+0.05%  頻率：600次/分

最小吐出量：0.01ml

                                                                                                                                          

超靜音無油空氣壓縮機(jī)（silent oil free air compressor）

電壓(Volt./Hz)：220V/50HZ

功率(Power):3/4HP（550W）

額定排氣量(L/min): 115L/MIN（0公斤）

60L/MIN（4公斤）

儲(chǔ)氣罐(Tank): 4L最大壓力(Pressure): 7 BAR

壓力開關(guān)：5-7公斤重量(N.W): 24公斤

外觀尺寸（Dimensions）: 410*190*480

                                       

中普尼智能科技有限公司                     

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