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是行業(yè)內(nèi)唯一 一家入選“中國品牌大會(huì)暨建國六十周年全國品牌盤點(diǎn)表彰盛典”并榮獲"中國半導(dǎo)體行業(yè)影響力十大暢銷品牌"的全球頂級(jí)制造商!
中普尼TM (CHINAPONYTM)智能勻膠機(jī)概述:
Spin Coater ,中文:勻膠機(jī)、甩膠機(jī)、涂膠機(jī)、涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、光阻旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、精密旋轉(zhuǎn)鍍膜機(jī)、高精度勻膠機(jī)旋涂儀等,主要用于液體、膠體在材料表面薄膜的形成.中普尼TM(CHINAPONYTM)智能勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體、微電子、新型材料(硅片、玻璃、陶瓷、載玻片、液晶片、ITO導(dǎo)電玻璃、砷化鎵、華陽板等材料)的制版及表面涂覆、薄膜制備等工藝,應(yīng)用于大專院校、科研機(jī)構(gòu)及相關(guān)行業(yè)生產(chǎn)企業(yè)等單位作教學(xué)、科研、生產(chǎn)之用,為微電子、光電子及太陽能電池研制領(lǐng)域中不可缺少的關(guān)鍵設(shè)備之一. 中普尼TM(CHINAPONYTM)的Spin Coater客戶群遍布全球著名的高校、科研院所和相關(guān)行業(yè)生產(chǎn)企業(yè)的研發(fā)與生產(chǎn)中心,為全球范圍內(nèi)使用頻率最高的勻膠機(jī)亦是最受歡迎的Spin Coating.
Spin Coater:CPN-KW-10A型號(hào)簡述(國際品質(zhì)、萬級(jí)轉(zhuǎn)速、精度更高、性能更強(qiáng)、Wafer涂敷尺寸更大)
本機(jī)搭載高智能電腦控制系統(tǒng):其卓越的操作系統(tǒng)非常穩(wěn)定,可實(shí)現(xiàn)均勻調(diào)速,且轉(zhuǎn)速更高,最高轉(zhuǎn)速為10000轉(zhuǎn),最低轉(zhuǎn)速300轉(zhuǎn);精度更加精確,其穩(wěn)定度為±0.1 %,為國際行業(yè)最高標(biāo)準(zhǔn);吸力更強(qiáng),噪音更低; 時(shí)間預(yù)設(shè)以秒為精度,勻膠時(shí)間最長可達(dá)9999秒,制膜過程控制更加精確;采用優(yōu)質(zhì)智能伺服電機(jī),保證了電機(jī)的壽命,使電機(jī)運(yùn)行更平穩(wěn);整體靜音結(jié)構(gòu),配置優(yōu)質(zhì)軸承,靜音電機(jī),確保電機(jī)運(yùn)行寧靜;可以預(yù)設(shè)置七種不同規(guī)格尺寸Wafer的工作程序 ,每段工作程序又可以設(shè)置25步不同的旋轉(zhuǎn)涂敷速度狀態(tài),同時(shí)LED同步即時(shí)顯示詳細(xì)的工作狀態(tài):段數(shù)程序、時(shí)間、速度、真空狀態(tài)等詳細(xì)指標(biāo)參數(shù),并 LED節(jié)能燈設(shè)計(jì),低功率、低能耗。
具有雙重保險(xiǎn)功能,內(nèi)置高靈敏度真空度傳感器,高智能電腦控制系統(tǒng)實(shí)時(shí)檢測(cè)每段勻膠工作程序真空度,使吸附中的Wafer更加堅(jiān)固、最大可能避免了甩片導(dǎo)致實(shí)驗(yàn)失敗的現(xiàn)象;
本機(jī)在啟動(dòng)時(shí),若系統(tǒng)真空度未達(dá)標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài),高智能電腦控制系統(tǒng)具有自動(dòng)停機(jī)保護(hù)性能,避免Wafer的破損和膠液的浪費(fèi)。
導(dǎo)入無需修理,以更換部件為理念的A/S系統(tǒng)。
CPN-KW-10A外觀表面由工業(yè)級(jí)不銹鋼構(gòu)造,采用綜合性能較強(qiáng)的表面拉絲處理生產(chǎn)工藝,具有良好的不銹性和耐化學(xué)介質(zhì)腐蝕等良好性能,其機(jī)身流線型支架經(jīng)全方位工業(yè)造型精心設(shè)計(jì),柔美不失穩(wěn)重、簡潔美觀、堅(jiān)固耐用、穩(wěn)定性更強(qiáng)、使用壽命更長。
本機(jī)同時(shí)在歐州、美國、大中華區(qū)(含新加坡、臺(tái)灣、香港、澳門)等區(qū)域營銷服務(wù),為方便全球各區(qū)域工作者語言使用習(xí)慣操作,因此在本機(jī)中設(shè)置存儲(chǔ)了中文和英文兩種主要官方語言程序。
電源電壓:100V /60Hz 或110V /60Hz 或 220V/ 50Hz
勻膠轉(zhuǎn)速:300 - 10000r/min ; 勻膠時(shí)間:1--9999 秒
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±0.1 % ; 最高轉(zhuǎn)速10000RPM.
尺寸:260mm(寬) x 350mm(深) x 260 mm(高)
適合:¢1-¢170mm(6.7”及6.7”以下)硅片及其它化合物等材料薄膜.
1,基底材料工作腔體與安全蓋板:
便攜式DIY工作腔體和真空吸盤,由天然聚丙烯材質(zhì)構(gòu)造,具有防污、防塵、防撞擊、防酸堿、防腐蝕、易清潔等良好優(yōu)點(diǎn),具備高強(qiáng)度的防刮劃能力,即便出現(xiàn)跌落、亂擦等狀況亦不會(huì)影響;同時(shí)不僅方便直接觀察涂敷工作過程亦可防止光刻膠等膠液飛濺腔體外,其光滑的內(nèi)壁工作腔體結(jié)構(gòu)不僅方便膠液的回收亦可方便清洗,使得工作更加環(huán)保、凈化、人性化。安全蓋板由高分子材料聚甲基丙烯酸甲酯構(gòu)造,其化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,具有耐沖擊性、耐久性、耐侯性、耐燃性、絕緣性良好、對(duì)人體無毒,更有極高的透明性,可在實(shí)驗(yàn)工作中隨時(shí)觀察旋涂過程。
2,最大旋涂負(fù)載:額定正常最大承載直徑170毫米的晶圓片或者125x125毫米的方片.
3,原裝標(biāo)準(zhǔn)輔機(jī)設(shè)備:(1)高真空度無油真空幫浦一臺(tái)(2)原裝天然聚丙烯真空吸盤兩個(gè)。
4,高真空度無油真空幫浦系統(tǒng):質(zhì)地結(jié)實(shí)耐用,光滑堅(jiān)硬,持久耐磨,鋁合金壓鑄,壽命長久,精密組合,靈活運(yùn)轉(zhuǎn),高效散熱,減低馬達(dá)溫度,可防止雜物進(jìn)入和人體傷害。
1,額定電壓/頻率 V/Hz:100V/60Hz 或110V/60Hz 或220V/50Hz
2,重新啟動(dòng)壓力:0KPa
3,最大空氣流量 m3/h:5.1m3/h
4,最大真空度KPa:-740mmHg 。
Item |
Specification |
Power |
100V /60Hz or 110V /60Hz or 220V/50Hz |
Speed range |
300 - 10000 r/min |
Speed stability |
±0.1 % |
Glue uniformity time |
1 -- 9999(S) |
Application |
¢1-¢170mm silicon and other materials |
Vacuum pump |
Vacuum pump exhaust rate 5.1m3/h |
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