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    包郵 關(guān)注:1559

    Activator150 SiC和GaN退火及石墨烯生長(zhǎng)

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類(lèi)設(shè)備-退火爐

    產(chǎn)品品牌

    Centrotherm

    庫(kù)       存:

    1000

    產(chǎn)       地:

    德國(guó)

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    1000.00
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:Centrotherm

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類(lèi)設(shè)備-退火爐

     

    Activator 150

    SiC和GaN退火及石墨烯生長(zhǎng)

     

    centrotherm Activator 150 高溫爐生產(chǎn)線專(zhuān)為硅-碳化合物(SiC)或鎵-氮化合物(GaN) 設(shè)備的后植入燒結(jié)而設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)。Activator 150 可用于多種類(lèi)型爐體, 如研發(fā)爐和批量生產(chǎn)爐, 且處理靈活性高。centrotherm 的無(wú)金屬加熱裝置的獨(dú)特設(shè)計(jì)允許處理溫度高達(dá) 1850 °C 同時(shí)縮短了工藝循環(huán)時(shí)間。由于占據(jù)空間小、購(gòu)置成本低,所以 Activator 150 可實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)具有成本效益。

     

    高活化率

    表面粗糙程度最小

    溫度最高達(dá) 1850°C

    批量規(guī)模高達(dá) 50硅片(150mm)

    加熱率最高達(dá) 150 K/min

    通過(guò)SiH4可實(shí)現(xiàn)硅“過(guò)壓

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    加溫速度是多快啊?降溫裝置是什么?有現(xiàn)貨嗎?

    hjool  2017-07-24

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    服務(wù)熱線

    4001027270

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