服務(wù)熱線
4001027270
Activator 150
SiC和GaN退火及石墨烯生長(zhǎng)
centrotherm Activator 150 高溫爐生產(chǎn)線專(zhuān)為硅-碳化合物(SiC)或鎵-氮化合物(GaN) 設(shè)備的后植入燒結(jié)而設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)。Activator 150 可用于多種類(lèi)型爐體, 如研發(fā)爐和批量生產(chǎn)爐, 且處理靈活性高。centrotherm 的無(wú)金屬加熱裝置的獨(dú)特設(shè)計(jì)允許處理溫度高達(dá) 1850 °C 同時(shí)縮短了工藝循環(huán)時(shí)間。由于占據(jù)空間小、購(gòu)置成本低,所以 Activator 150 可實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)具有成本效益。
高活化率
表面粗糙程度最小
溫度最高達(dá) 1850°C
批量規(guī)模高達(dá) 50硅片(150mm)
加熱率最高達(dá) 150 K/min
通過(guò)SiH4可實(shí)現(xiàn)硅“過(guò)壓
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