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1、該儀器是一種雙磁傳感器系統(tǒng)，可以將SSM工具的性能擴(kuò)展到模具(可以是全晶片，也可以是復(fù)雜的3D TSV或線焊設(shè)備)。該儀器使用非破壞性技術(shù)在模具、封裝和PC板層面創(chuàng)建設(shè)備當(dāng)前圖像。然后，當(dāng)前圖像可以與光學(xué)基準(zhǔn)和設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)結(jié)合使用，以定位三維靜態(tài)缺陷。

2、該儀器將超導(dǎo)量子干涉器件傳感器(SQUID)的靈\敏\度與高分辨率磁阻傳感器相結(jié)合。采用兩步方法，通過(guò)SQUID可以非常快速地映射設(shè)備內(nèi)部電流產(chǎn)生的磁場(chǎng)，然后通過(guò)高分辨率傳感器再次進(jìn)行高\精\度和分辨率的映射。由于在典型設(shè)備中使用的大多數(shù)材料都有磁場(chǎng)滲透，所以不需要對(duì)設(shè)備進(jìn)行任\何方式的反處理就可以開(kāi)始定位故障。

3、此外，兩個(gè)傳感器均只需要很小的電流，這樣可以保護(hù)被測(cè)設(shè)備免受進(jìn)一步的損壞，并且可能是在嘗試檢測(cè)具有非常高電阻(100k ω)的電路故障時(shí)的唯\一選擇。

4、該儀器可以分析的典型故障包括短路、泄漏和電阻開(kāi)啟。該系統(tǒng)可用于成像交流和/或直流磁場(chǎng)(同樣，電流)取決于設(shè)備的要求。

IC 無(wú)損檢測(cè)分析儀器 Magma SSM HiRes

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