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    氣氛管式爐

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備

    庫       存：

    10

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

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    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備


    1.設(shè)計溫度：1200℃
    2.爐膛材質(zhì)：優(yōu)質(zhì)氣煉石英管
    3.恒溫區(qū)：根據(jù)客戶要求（恒溫區(qū)內(nèi)溫差±1℃）
    4.控制溫區(qū)點數(shù)：石英管外3個測溫點，采用3支鉑銠熱電偶；石英管內(nèi)1個固定測溫點，采用K型熱電偶；石英管內(nèi)1個可移動測溫點，K型熱電偶，用于測量溫度分布及校準(zhǔn)。
    5.加熱元件：優(yōu)質(zhì)電阻絲
    6.最大加熱功率根據(jù)工藝要求而定
        7.氣路配件材料卡套密封；兩路氣體采用質(zhì)量流量計控制,方便設(shè)定氣體流量。
    8. 極限真空預(yù)抽真空 ：一級機械泵2X—4（1.0Pa 10）min
    9. 外形參考尺寸可定
    10. 控溫精度：±1℃。
        11. 電源：三相五線制，AC380V 50Hz。
        12. 溫控表：日本島電，25段可編程序。
        13. 控制方式：過零觸發(fā)。
        14. 真彩觸摸屏+PLC程序控制
        15. 氣路系統(tǒng)氣密性：1×10-7 Pa·M3/S
        16. 最大升溫速率：15℃/Min
        17. 質(zhì)量流量計精度等級：0.2%FS—0.5%FS：
        18. 質(zhì)量流量計測量范圍：依據(jù)客戶工藝選擇
        19. 每臺流量計前各有一個過濾閥
    20. 每條管路各配有一個單向閥來杜絕氣體的倒流。
        21. 工作腔體壓力通過數(shù)字真空計直觀顯示。
        22. 工藝氣體在進入工作腔體前經(jīng)過混氣包來實現(xiàn)工藝氣體按比例混合
        23. 所有氣路管件包括閥門均采用耐腐蝕不銹鋼（可耐H2S氣體高溫工作環(huán)境）

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