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場(chǎng)發(fā)射掃描式電子顯微鏡(可遠(yuǎn)程遙控)（FE-SEM）型號(hào)：MIRA II-LMH　

技術(shù)參數(shù)

1.分辨率:高真空(SE)1.0nm at 30kV,1.2nm at 15kV
2.0nm at 3kV,3.5nm at 1kV
2.放大倍數(shù):4 to 1000000x
3.真空系統(tǒng):樣品室<9*10 -3Pa，槍體真空<3*10 -7Pa
4.加速電壓0.5kV to 30Kv
5.電子束電流2pA—100nA
6.樣品室內(nèi)部直徑：230mm
7.樣品臺(tái)行程: (5軸馬達(dá)控制）
  X=80mm——馬達(dá)控制
  Y=60mm——馬達(dá)控制
  Z=47mm——馬達(dá)控制
  R=360°連續(xù)馬達(dá)控制
  T=-75°to50°馬達(dá)控制
  最大樣品高度60mm.

主要特點(diǎn)

國(guó)內(nèi)唯一一家使用中文操作界面的電鏡廠商
1.電磁式電子槍自動(dòng)對(duì)中;
2.可以提供四種觀察影像模式:分辨率模式;景深模式;視野模式;大視野模式,很方便尋找樣品位置;
3.紅外線樣品室內(nèi)**裝置,可以在測(cè)量同時(shí)觀測(cè)樣品;
4.真空系統(tǒng)采用一臺(tái)機(jī)械泵和一臺(tái)分子泵，電子槍部分使用離子泵，抽真空速度快,在更換樣品后,三分鐘內(nèi)就可達(dá)到待測(cè)狀態(tài);并且不需要使用冷卻水冷卻.
5.采用氣墊減震系統(tǒng)
6.先進(jìn)的軟件系統(tǒng),在數(shù)據(jù)儲(chǔ)存數(shù)據(jù)記錄數(shù)據(jù)打印等方面具有多種創(chuàng)新功能.
7.11個(gè)外擴(kuò)展接口.
8.可進(jìn)行遠(yuǎn)程控制

SEM 電子顯微鏡

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

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