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    特氣柜

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體輔助設備-氣體類輔助設備-氣柜

    庫       存：

    2

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：

    型號：

    所屬系列：半導體輔助設備-氣體類輔助設備-氣柜

     特氣柜尺寸：
    800mm長×540mm寬×1800mm高
     
    控制柜尺寸：
    800mm長×230mm寬×320mm高 
     
    特氣柜參數(shù)：
    PN2入口壓力：80PSI，1/4 MALE VCR接口
    GN2入口壓力：80PSI，1/4 MALE VCR接口
    CDA入口壓力：4-10bar，1/4卡套接口
    VENT出口：1/2VCR接口
    工藝氣體出口：兩路1/4 MALE VCR接口
    特氣柜柜體換氣量： SiH4-1200次/小時，其余300次/小時
    電源：220V（半自動）    
    防爆玻璃觀察窗：標配
     
    按瓶數(shù)分類：單瓶柜（架）/二瓶柜（架）
    按操作方式分類：手動、半自動。

    產(chǎn)品優(yōu)勢：
    氣路配件，接頭、閥門等全部是進口電子級材料，管道為316L，自動軌道焊接。
    氣路設計合理完善，工作管路具備抽空、回充、壓力指示等功能，氣瓶柜留有排氣口，并具有負壓檢測。根據(jù)實際需要可安裝稱重、加熱等裝置。
    氣瓶柜箱體采用安全設計，所選用的材料適用于各種不同性質(zhì)的氣體，美觀，緊湊，安全，質(zhì)優(yōu)價廉，可按照客戶要求定制。
    完善的安全報警裝置，具有氣體泄漏檢測報警（如SiH4、PH3、HCL等泄漏報警）報警信號被觸發(fā)時，自動切斷。
    交貨期短，常用配件備有大量庫存。
    完善的售前、售后服務，贏得客戶認可。例如，清華大學，北京大學，中科院半導體所等。
     
    產(chǎn)品應用：可以為 MOCVD、PECVD、刻蝕機等設備配套，應用于半導體、太陽能電池、生物工程、微電子等行業(yè)。

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