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    E1550-初步小規(guī)模生產(chǎn)的臥式爐

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設備-爐類設備

    產(chǎn)品品牌

    Centrotherm

    庫       存：

    1000

    產(chǎn)       地：

    中國-上海市

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    ￥1000.00
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    品牌：Centrotherm

    型號：

    所屬系列：半導體加工設備-爐類設備

     

    E1550

    初步小規(guī)模生產(chǎn)的臥式爐

     

    centrotherm E1550 最優(yōu)化系統(tǒng)，支持多種工藝能力，適用于中等生產(chǎn)能力和高工藝性能用戶，是一款安全、可靠、易于維護的臥式擴散爐平臺。該爐可高達4層石英管或SiC工藝管， 其硅片尺寸可達300毫米的。憑借其低維護和運行成本、及占地面積小等優(yōu)勢， E1550 可以生產(chǎn)出極具成本效益的產(chǎn)品。

     

    適用于常壓以及LPCVD和PECVD工藝
    特殊工藝腔體3或4種版本可供選擇
    先進的冷卻系統(tǒng):不同爐管之間沒有熱干擾
    全自動片架傳送系統(tǒng)
    模塊化部件設計，便于在潔凈室安裝調試
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