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自動(dòng)的石英坩堝清洗機(jī)是利用濕法的化學(xué)工藝來(lái)清洗石英部件。在清洗的過(guò)程中,HF附帶DI水及加壓氮?dú)獗蛔鰹槲g刻劑,石英坩堝的移動(dòng)是通過(guò)PLC控制多向的自動(dòng)化機(jī)械手臂來(lái)完成系統(tǒng)的操作。
設(shè)備主體結(jié)構(gòu)由清洗機(jī)箱體、漏盤(pán)、上下噴淋系統(tǒng)、活動(dòng)托盤(pán)、儲(chǔ)酸系統(tǒng)、抽風(fēng)系統(tǒng)、酸液循環(huán)系統(tǒng)、石英器皿腐蝕/清洗槽、熱風(fēng)烘干系統(tǒng)、管路部分、PLC+觸摸屏電控部分。
該設(shè)備主體上下分為三部分:上層電器控制系統(tǒng)、后部抽風(fēng)系統(tǒng),中層工作區(qū),下層為管道安裝維修區(qū)、儲(chǔ)酸箱、DIW增壓泵、緩沖槽、酸液循環(huán)泵等。
工藝流程:
首先將石英坩堝放入清洗機(jī)立式活動(dòng)臺(tái),檢查水、電、氣正常,活動(dòng)門(mén)封閉,然后啟動(dòng)按鈕→進(jìn)入酸洗程序→進(jìn)入DIW洗程序→冷風(fēng)預(yù)吹干→熱風(fēng)吹干→冷風(fēng)預(yù)冷卻→合格報(bào)警→人工用小車(chē)將石英坩堝取出清洗機(jī),完成整個(gè)清洗工作。
SPMC的生產(chǎn)車(chē)間寬敞,布局合理,有1600平米加工制造車(chē)間、高精度的CNC加工中心、大尺寸雕刻機(jī);200平米千級(jí)和萬(wàn)級(jí)的潔凈室;配備潔凈空氣、氮?dú)饧叭ルx子水;208伏和308伏的三相電壓;配套了先進(jìn)的進(jìn)口焊接、剪裁、測(cè)試及裝配工具。 |
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