網(wǎng)站首頁

中|EN

當(dāng)前位置: 首頁 » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體測試設(shè)備 » 力學(xué)測試設(shè)備 » 應(yīng)力檢測儀 »薄膜應(yīng)力測量系統(tǒng)
    •
    包郵 關(guān)注:851

    薄膜應(yīng)力測量系統(tǒng)

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付
    • 商品詳情
    • 商品參數(shù)
    • 評價詳情(0)
    • 裝箱清單
    • 售后保障

    薄膜應(yīng)力測量系統(tǒng)

    在硅片等基板上附膜時，由于基板和薄膜的物理定數(shù)有異，產(chǎn)生應(yīng)力，進(jìn)而引起基板變形。由涂抹均勻的薄膜引起的變形的表現(xiàn)為基板的翹曲，而薄膜應(yīng)力測量裝置FLX系列可從這個翹曲（曲率半徑）的變化量測量其應(yīng)力。

    Toho FLX-2320-S薄膜應(yīng)力測量系統(tǒng)的詳細(xì)資料

    薄膜應(yīng)力測量系統(tǒng)：

    在硅片等基板上附膜時，由于基板和薄膜的物理定數(shù)有異，產(chǎn)生應(yīng)力，進(jìn)而引起基板變形。由涂抹均勻的薄膜引起的變形的表現(xiàn)為基板的翹曲，而薄膜應(yīng)力測量裝置FLX系列可從這個翹曲（曲率半徑）的變化量測量其應(yīng)力。

    技術(shù)參數(shù)：

    Toho FLX-2320-S薄膜應(yīng)力測量系統(tǒng)精確測量多種襯底材料、金屬和電介質(zhì)等薄膜應(yīng)力。



    主要特點(diǎn)：

           ◆雙光源掃描（可見光激光源及不可見光激光源），系統(tǒng)可自動選擇最佳匹配之激光源； 
           ◆系統(tǒng)內(nèi)置升溫、降溫模擬系統(tǒng)，便于量測不同溫度下薄膜的應(yīng)力，溫度調(diào)節(jié)范圍為-65℃至500℃； 
           ◆自帶常用材料的彈性系數(shù)數(shù)據(jù)庫，并可根據(jù)客戶需要添加新型材料相關(guān)信息至數(shù)據(jù)庫，便于新材料研究； 
           ◆形象的軟件分析功能，用于不同測量記錄之間的比較，且測量記錄可導(dǎo)出成Excel等格式的文檔； 
           ◆具有薄膜應(yīng)力3D繪圖功能。

     

    用戶界面：

    最新版WINDOWS OS易懂操作界面。

    另搭載豐富的基板材料數(shù)據(jù)庫。自動保存測量數(shù)據(jù)等方便性能。

    每個用戶可分別設(shè)定訪問權(quán)限。使用自帶軟件實(shí)現(xiàn)簡單卻性能高，簡單測量。

    blob.png

     

    blob.png                            blob.png

                    3D Mapping                                      Process Program 標(biāo)準(zhǔn)測量 Recipe

    blob.png                            blob.png

                Wafer形狀2D顯示                                              訪問級別編輯界面

          blob.png

                                          數(shù)據(jù)庫2軸彈性系數(shù)

    blob.png                                    blob.png

     

    咨詢

    購買之前，如有問題，請向我們咨詢

    提問:
     

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品：

    服務(wù)熱線

    4001027270

    功能和特性

    價格和優(yōu)惠

    微信公眾號