產品技術規(guī)格介紹

NT-60-PSP中型等離子清洗機規(guī)格

主要技術參數(shù)：
1) 整機外形尺寸（約）: 900W×1700H×1000D（mm） 外觀噴塑處理；
2) 反應倉尺寸： W450mm×H300mm×D450mm；
3) 電源：主系統(tǒng)電源: 380×(1±10%)V(AC)  50Hz～60Hz  三相五線
4) 等離子體頻率：13.56MHz；
5) 射頻電源功率：（0～600）W連續(xù)可調；
6) 設備功率：≤3kW
7) 控制方式：采用包括觸摸屏人機界面的PLC控制，操作方式包括自動模式和手動模式。在自動模式下將不同工藝參數(shù)按照配方方式管理，可同時存儲100組不同的配方。使用時只需要將相應配方號調出即可。設備參數(shù)分級管理，設備操作員、工藝人員、維護人員使用不同口令管理不同參數(shù)，提高設備安全性。手動模式用于實驗工藝以及設備維護維修。
8) MFC質量流量計控制（標準配置2路）
9) 氣體流量：(0～200)ml/min （標準氣壓,0℃）
10) 工作氣體(氧、氬等)接口壓力：≤0.45MPa
11) 壓縮空氣（啟動氣動角閥）接口壓力：0.45Mpa
12) 凈化冷卻氣體（氮氣）接口壓力：0.45MPa
13) 設備工作節(jié)拍：單次清洗時間≤6min（反應時間180S左右）
14) 工作真空度：10～150Pa

反應倉：
1) 反應倉材質：采用高純度304不銹鋼定制，緩解氧化生銹現(xiàn)象；
2) 電極板（托盤）材質：采用鋁合金或高純度304不銹鋼定制，緩解氧化生銹現(xiàn)象；
3) 反應倉后部安裝有銅電極座，電極座分布多個螺釘鎖定接口，水平電極板通過該接口鎖定，牢固可靠，更有助于射頻源的穩(wěn)定輸出。
4) 倉體左右兩側安裝有側托，用于支撐電極板。
5) 清洗對象的籃具置于電極板上，電極板通過插頭與銅電極座相連，插入的電極板方向決定了該電極板為陽或為陰。
6) 本設備提供的清洗模式為直接等離子體模式。直接等離子體模式為陽、陰電極相間放置。
7) 電極可以同時安放2組~4組任意組合。電極有效面積為380×310 (mm)，電極間距為2.5（cm）可調。
8) 反應倉真空平衡方面做了改進，平衡閥能夠快速解壓（5~10秒內），避免了長時間等待平衡時間，提高了生產效率。

真空泵： 
1） 我們推薦使用PUDEE油泵PDV30此泵優(yōu)點：風冷，抽速快，抗氧化，耐腐蝕，維護成本低，可自行緩解溫度過高的散熱體系，無需水冷。完全解決了油泵易氧化的問題。
2） 耗電低，噪音小，使用壽命長。
3） 泵體內置于機柜內部，使機器緊湊，占地面積小
自動控制系統(tǒng)：
采用PLC進行全程控制，性能穩(wěn)定，功能全面，人機界面友好，所有工藝參數(shù)，工藝過程實時監(jiān)控，并顯示運行狀態(tài)、報警記錄、工藝曲線記錄和工作時間記錄，權限等級，密碼管理等，方便維護保養(yǎng)。

射頻電源：
1） 射頻電源為專業(yè)滿足在半導體工藝的高頻驅動等離子系統(tǒng)的性能要求而采用的進口固態(tài)半導體芯片的射頻電源。電源功率充足500w應用領域包括：刻蝕、RIE、平行板、ICP、射頻濺射、CVD和PVD等工業(yè)領域。其技術確保了超穩(wěn)定的輸出，此穩(wěn)定技術使功率放大性能得以優(yōu)化并降低由等離子阻抗波動造成的功率增益變化。
2） 通過編碼器和軟鍵輸入實現(xiàn)Local控制
3） 標準R232接口和A/D控制
4） 在全控制和可編程微處理器作用下，可激活前面的控制面板
5） 控制電路確保了在高VSWR條件下的連貫性
相比業(yè)界同類產品，我公司產品除以上重要組件具備絕對優(yōu)勢以外，無論從其外觀設計到操作程序設計，均貫穿了先進、卓越和人性化的理念。設備的清洗時間、潔凈壓力、射頻功率、工藝氣體流量設定可調，一鍵完成全自動工藝，實時故障報警、非法操作提示、清洗結束提示等。自動提醒系統(tǒng)維護、更換真空泵油等，避免機器過載、過老化情形下工作，延長使用壽命。

場地要求：
電   源：三相五線   獨立接地，接地電阻≤2Ω。應使用截面積4mm2以上的接地銅線（建議使用獨立接地體，接地電阻必須≤2Ω。）將設備接至PE。
氣    源：氮氣 0.45MPa 其它工作氣體(氧、氬、氫、氦等)：≤ 0.45MPa
壓縮空氣：0.5Mpa
真空泵排放氣管：軟管，管徑（內徑）φ25mm。建議將排氣管接至室外，并且在排氣管路上設置防止水、油流回的裝置。
場地溫度：≤40℃
相對濕度：RH（35-65）%

產品驗收標準
產品驗收以技術方案中的主要技術參數(shù)中的14項作為驗收標準，驗收報告以此作為基準出具驗收表格，方案中的其他各項均應符合實際的機器配給情況。
咨詢熱線：0769-38834526