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    包郵 關(guān)注:548

    PVA TePla 在線等離子體清洗機(jī)

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    真空等離子清洗機(jī)

    產(chǎn)品品牌

    PVA TePla

    庫(kù)       存:

    1000

    產(chǎn)       地:

    德國(guó)

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:PVA TePla

    型號(hào):

    所屬系列:真空等離子清洗機(jī)

     PVA TePla在線等離子體處理設(shè)備/等離子體清洗/等離子體涂層


    型號(hào):
    IoN-ILHC, GIGA 80(PLUS) 

    技術(shù)指標(biāo):

    腔體:
    鋁/不銹鋼

    腔體結(jié)構(gòu):
    單腔體,三腔體結(jié)構(gòu)

    等離子體發(fā)生器:
    射頻RF13.56MHz:0-600W,0-1000W;
    微波MW2.45GHz:0-1000W

    工藝氣體:
    標(biāo)配2路,可擴(kuò)展多支持6路工藝氣體,可選單體管路。

    基片夾具:
    定制化


    選配:
    高精度真空規(guī)
    壓力控制
    燈柱
    掃碼槍
    液體循環(huán)冷卻機(jī)
    單體工藝工具及氣體加熱管線
    額外氣體、單體進(jìn)氣閥

    安全認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)
    CE certified
    2006/95/EC, Low Voltage Directive
    Standard IEC EN 61010
    2004/108/EC Electromagnetic Compatibility
    Standard IEC EN 61326
    CISPR 55011

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    服務(wù)熱線

    4001027270

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    價(jià)格和優(yōu)惠

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