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聚焦離子束雙束系統(tǒng)用于金屬、半導體、電介質(zhì)、多層膜結構等固體樣品上制備微納結構；高質(zhì)量定點TEM樣品制備；化學和晶體結構三維形態(tài)分析。
儀器功能介紹：
一：截面切割表征，可以在樣品進行定點切割，并且配合EDS能譜分析表征其截面形貌與元素分布，可用于芯片等器件失效分析，或者實現(xiàn)對樣品材料的三維重構分析。
二：直寫制備微納結構，可以于金屬、半導體等固體材料上制備線寬15nm以上的納米結構器件，可用于制備包括光子晶體結構，表面等離激元器件等。
三：配備Pt誘導沉積系統(tǒng)，可以在樣品定點區(qū)域沉積金屬Pt，可用于芯片修補，也可沉積制備納米圖形。
四：制備TEM樣品，對樣品的進行定點切片。
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