高精密數(shù)控晶體滾圓磨床FX27P-60CNC

 豪特曼高精密數(shù)控晶體滾圓磨床，采用雙頂夾持方式，對4、6、8英寸晶圓進行外圓磨削加工，精度高，剛性好，全罩式鈑金，封閉嚴(yán)密。

1、 技術(shù)規(guī)格：

項 目		單 位	機型：FX27P-60CNC
加工能力	工作臺最大旋徑	mm	270
	兩頂針最長距離	mm	600
	最大研磨直徑	mm	270
	兩頂心間最大荷重	Kg(b)	60(頂心工作)/20（只有工作頭）
	砂輪尺寸（直徑×寬度×孔徑）	mm	405×38(32-50)×127
	砂輪轉(zhuǎn)速	rpm	1650
	砂輪最大線速度	m/s	35(高速砂輪可達65)
	砂輪修整	mm	自動型
砂輪頭	進給角度	Deg	90
	進給行程	mm	220
	X軸進給速度	m/min	6
	X軸最小進給量	mm	0.001
頭架	主軸轉(zhuǎn)速	rpm	50-500
	主軸形式		同動或定心
	頂針規(guī)格		MT-5
尾座	自動伸縮距離	mm	40
	頂針規(guī)格		MT-4
工作臺	Z軸快速移動速度	m/min	8
	Z軸最小進給量	mm	0.001
	最大移動行程	mm	640
	旋轉(zhuǎn)角度	Deg	+7/-3
馬達	砂輪主軸馬達	KW	3.75
	X軸進給馬達（伺服）	KW	1.5
	Z軸進給馬達（伺服）	KW	1.5
	頭架主軸馬達	KW	0.75
	冷卻水泵馬達	KW	0.75
	潤滑油馬達	KW	0.25*2
	尾座油泵馬達	KW	0.75
其他	機器凈重	Kg	3300
	機器毛重	Kg	3500
	包裝尺寸（長*寬*高）	mm	2700*2000*2000

 

2、 機床精度：

 經(jīng)過豪特曼外圓磨床研磨(磨削)，須達到如下標(biāo)準(zhǔn)精度要求：(不同材質(zhì)工件選用不同砂輪)

No.	機型	工件	真圓度	粗糙度
1.	FX27P-60CNC	標(biāo)準(zhǔn)試樣件	≤0.0015mm	≤Ra0.2

   注：粗磨 (一般情況研磨量 0.03~0.05mm)；精磨 (一般情況研磨量0.01~0.015mm)

 

一、           設(shè)備描述：

1、 本體

本體及構(gòu)件采用米漢納高級鑄鐵FC30鑄成，經(jīng)人工正?；療崽幚恚俳?jīng)過自然時效處理。構(gòu)件加工采用YASDA，MITSUI SEIKI，TOSHIBA ，ELB等優(yōu)秀設(shè)備一次裝夾加工。精密尺寸可達微米級，確保設(shè)備基礎(chǔ)構(gòu)件高精度。

2、 自動潤滑系統(tǒng)

機床導(dǎo)軌及精密滾珠絲桿持續(xù)不斷地受到自動潤滑系統(tǒng)的供油潤滑，確保較長使用壽命，及長期保持較高精度。冷卻系統(tǒng)與機體分開，消除振動并且有利散熱。

3、 自動化系統(tǒng)

配置西門子828D數(shù)控自動化研磨系統(tǒng)，并進行二次開發(fā)，實現(xiàn)人機對話傻瓜式操作，備有眾多選購配備可供選擇，包括內(nèi)孔研磨裝置、自動端面測量裝置、自動外徑測量裝置等。