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FAM(自由磨料加工)是SpeedFam原始單面搭接過程,使自由磨料磨具在ultrahard板效率高。這些簡單的系統(tǒng)非常容易操作和維護。不僅適用于研磨,我們提供這個陣容配置軟,“硬”拋光。從裸硅片金屬和藍寶石,這些單邊系統(tǒng)提供研磨過程廣泛的生產(chǎn)要求。
SpeedFam 50-SPAW和59-SPAW機器自動單邊機械化學(xué)拋光系統(tǒng)進行裸硅片處理。我們運輸陶瓷安裝板自動(與晶片加載和卸載)。這些系統(tǒng)配備了各種先進的技術(shù),如較低的熱膨脹拋光板和冷卻降溫、獨立控制驅(qū)動和精確的壓力控制每個進程。
我們48英寸滾筒機器通用單面研磨系統(tǒng)適用于各種各樣的大規(guī)模生產(chǎn)的流程。配置包括拋光和硬拋光的規(guī)格和所有可以合并抗腐蝕材料和各種特定于應(yīng)用程序的選項。
SpeedFam線組成的32寸通用單邊機器為眾多應(yīng)用程序提供了各種不同的規(guī)范。本設(shè)備適用于各種各樣的大規(guī)模生產(chǎn)，拋光和硬拋光的應(yīng)用。都可以用耐腐蝕材料為各種特定應(yīng)用程序和可用各種各樣的選項來滿足您的需求。
我們的12 b是一個桌面單面研磨工具板直徑12英寸。從一個小部件的實驗項目可以廣泛用于搭接的大規(guī)模生產(chǎn)，拋光和硬拋光的應(yīng)用。
我們的sp-1700是振蕩型單面拋光機拋光板和1700mm直徑。這是一個用在液晶玻璃基板的拋光生產(chǎn)工具（通常730mmx920mm平方）。SP系列拋光機配置其他大型工件的尺寸以及。
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