網(wǎng)站首頁(yè)

|EN

當(dāng)前位置: 首頁(yè) » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體加工設(shè)備 » 晶圓減薄拋光設(shè)備 » 研磨機(jī) »X61 D9B-W型雙面研磨機(jī)
    包郵 關(guān)注:433

    X61 D9B-W型雙面研磨機(jī)

    產(chǎn)品品牌

    赫瑞特(蘭州瑞德)

    規(guī)格型號(hào):

    9B雙面研磨機(jī)

    庫(kù)       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國(guó)-江蘇省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:赫瑞特(蘭州瑞德)

    型號(hào):9B雙面研磨機(jī)

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-晶圓減薄拋光設(shè)備-研磨機(jī)

     X61 D9B-W研磨機(jī)技術(shù)規(guī)格書(shū)

     

    、主要用途及特點(diǎn)

    1.1本機(jī)主要用于藍(lán)寶石、光學(xué)玻璃、硅片、砷化鉀片、陶瓷片、石英晶體及其他半導(dǎo)體材料的雙面研磨,也可用于其它硬脆材料的雙面高精度研磨加工。

    1.2 整機(jī)采用龍門(mén)結(jié)構(gòu),支撐剛度及設(shè)備穩(wěn)定性更高。

    1.3該研磨機(jī)加壓系統(tǒng)分成輕壓研磨、 中壓研磨和修正(輕壓)多段壓力,能適應(yīng)較廣泛的各類(lèi)用戶研磨各種零件。

    1.4本設(shè)備上研磨盤(pán)快升、快降、緩升、緩降集中于同一個(gè)手柄上,操作方便。

    1.5采用三相交流異步電機(jī),變頻調(diào)速,起動(dòng)及停車(chē)平穩(wěn),無(wú)沖擊,可以防止工件破損,也能根據(jù)加工零件材料不同,調(diào)節(jié)到理想的研磨速度。

    1.6內(nèi)齒圈可以自動(dòng)升降,并設(shè)置了內(nèi)齒圈下降極限位置定位裝置,便于取放工件及修正輪,太陽(yáng)輪的高低位置通過(guò)對(duì)其內(nèi)墊圈的增減進(jìn)行調(diào)整。

    1.7設(shè)備采用時(shí)間控制,到預(yù)測(cè)目標(biāo)值屆時(shí)自動(dòng)停車(chē)。因此,一人可同時(shí)操作多臺(tái)機(jī)器。

    1.8本機(jī)電氣通過(guò)PLC控制,四行文本顯示器顯示壓力過(guò)程,操作方便。

    、設(shè)備基本參數(shù)

    l 上下研盤(pán)尺寸:φ640mm×φ235mm×30mm(鑄鐵)

    l 游星輪參數(shù):  英制:Z=108   DP12   α=20°

    公制:Z=114   M=2   α=20°

    l 游星輪數(shù)量:   5個(gè)

    l 最小研磨厚度: 0.20mm

    l 最大研磨厚度: 30mm

    l 加工能力:     40片/φ50mm,20片/φ75mm,10片/φ100mm

    l 最大研磨直徑:φ150mm

    l 下盤(pán)轉(zhuǎn)速:     0-60rpm

    l 主電機(jī):       4kW   AC380V    1460rpm

    l 三相電泵:     1/4HP  AC380V    70L/min

    l 外型尺寸:     1000mm×1460mm×2620mm

    l 重量:         約1800kg

    三、基本配置

    l 氣動(dòng)元件:                              SMC

    l 減速器:                         杭州恒星

    l 主要軸承:                            NSK、哈瓦洛軸等

    l 可編程控制器〔PLC〕                        臺(tái)達(dá)

    l 四行文本顯示器                            臺(tái)達(dá)

    l 變頻器                              施耐德

    l 旋鈕開(kāi)關(guān)、電器開(kāi)關(guān)                         和泉、213等

    l 主電機(jī)                                     國(guó)產(chǎn)

    四、設(shè)備的安裝及使用條件

    4.1、 設(shè)備箱體上裝有四個(gè)起吊柱,專門(mén)用于設(shè)備搬運(yùn)時(shí)吊裝,設(shè)備應(yīng)安裝在地面平坦,遠(yuǎn)離振動(dòng)源,無(wú)灰塵煙霧污染的場(chǎng)所。

        設(shè)備安裝的條件為:

          a、溫度10℃-25℃

          b、相對(duì)濕度≤95%

          c、電源電壓AC380±38V(三相五線制)

          d、壓縮空氣源 0.4-0.6MPa

    4.2、設(shè)備可直接放在地板上,調(diào)整六個(gè)地腳螺栓可校正設(shè)備的水平,校正時(shí),用水平儀在下研盤(pán)上檢測(cè)(即在相互垂直的兩個(gè)方向上檢測(cè)、校正),其水平應(yīng)調(diào)至0.06/1000mm。

    、設(shè)備總體技術(shù)要求

    l 下盤(pán)平面度小于0.02mm;

    l 下盤(pán)端面跳動(dòng)小于0.06mm;

    咨詢

    購(gòu)買(mǎi)之前,如有問(wèn)題,請(qǐng)向我們咨詢

    提問(wèn):
     

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類(lèi)產(chǎn)品:

    服務(wù)熱線

    4001027270

    功能和特性

    價(jià)格和優(yōu)惠

    微信公眾號(hào)