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TS3000-SE是 TS3000 探針系統(tǒng)的進一步發(fā)展, 以 MPI 系統(tǒng)為超低噪聲. 非常準(zhǔn)確和高度可靠的 DC/CV,1/f RTS 和 射頻測量, 主要解決設(shè)備特性的需要,晶片級可靠性和射頻和毫米波應(yīng)用。
獨特主動冷卻探頭板設(shè)計提供了最大的穩(wěn)定性, 在寬溫度范圍從-60度到 300度, 使 TS3000-SE 探頭系統(tǒng)成為不同熱條件下測試設(shè)備的絕佳選擇。
Probe hover control 探頭懸?？刂?/p>
Probe hover control 探頭懸停控制 MPI 探針懸?？刂?PHC 允許手動控制接觸和分離距離, 可以精確地控制與微米反饋探針探針的晶片/墊定位. 易于使用通過在關(guān)鍵設(shè)置和探頭更換操作期間最小化錯誤來保證最安全的操作。
Easy wafer loading 易晶片裝載
雙前門通道和獨特的卡盤設(shè)計, 使150、200、300毫米硅片碎片或小到 4 * 4 毫米 IC容易裝卸程序。
輔助卡盤都位于前面, 可以很方便地裝載/卸載。沒有推出階段允許用于校準(zhǔn)和探針卡清潔的簡單自動化方法。
Integrated hardware control panel 集成硬件控制面板
Integrated hardware control panel 集成硬件控制面板 智能硬件控制面板完全集成到探頭系統(tǒng)中, 根據(jù)數(shù)十年的經(jīng)驗和客戶交互設(shè)計, 提供更快、更安全、更方便的系統(tǒng)控制和測試操作. 鍵盤和鼠標(biāo)是戰(zhàn)略定位控制軟件, 也將控制基于 windows 的儀器。
Thermal chuck integration 熱卡盤集成
由于智能冷水機組集成, TS3000 系列為節(jié)省實驗室寶貴空間提供了最佳的足跡。
MPI和ERS設(shè)計了新的300毫米熱夾頭技術(shù)家庭，提供了無與倫比的熱彈性，減少了60%的浸泡時間，以及市場上最大的各種熱范圍。
減少過渡時間，改善電氣性能，在惰性氣體環(huán)境下更容易測試，以及現(xiàn)場可升級性是主要熱卡盤系統(tǒng)的附加值。
熱系統(tǒng)可以通過使用全集成觸摸屏顯示，置于方便的位置，在操作前快速操作和即時反饋。
ERS patented AC3 cooling technology incorporated ERS專利AC3冷卻
這些卡盤包含了專利的AC3冷卻技術(shù)和自人類管理系統(tǒng)，使用循環(huán)冷卻空氣凈化MPI保護環(huán)境，從而大大減少了市場上其他系統(tǒng)的30% - 50%的空氣消耗。
Safety test management (STM) system 安全測試管理系統(tǒng)
獨特的STM系統(tǒng)在測試測量結(jié)果時防止門打開是安全的，在任何情況下都不可能在負(fù)的卡盤溫度中意外開啟任何系統(tǒng)。此外，智能露點控制程序避免了冷測時的靈敏度。系統(tǒng)自動監(jiān)測CDA或氮的流動。如果流量中斷或不足，STM自動將卡盤轉(zhuǎn)換為安全模式，在露點以上盡快加熱卡盤。MPI STM是通過自動維護安全的測試環(huán)境，使TS 3000 -SE測量更安全、更可靠、更方便的特性。
Instruments integration 設(shè)備集控
可選的儀表架可減少電纜長度，增加測量的動態(tài)性和方向性。
oftware suite SENUIO 軟件套件SENUIO
MPI自動化工程探測系統(tǒng)由一個獨特的和革命性的,多點觸摸操作SENTIO軟件套件簡單直觀的操作將節(jié)省大量的訓(xùn)練時間,滾動變焦,模仿現(xiàn)代智能移動設(shè)備和移動命令可以讓每個人都成為一個專家在幾分鐘.Switching活動應(yīng)用程序與應(yīng)用程序的其余部分是一個簡單的手指掃描的問題。
對于射頻應(yīng)用，不需要切換到另一個軟件平臺——MPI射頻校準(zhǔn)軟件程序QAlibria完全集成到感知器中，通過遵循單一的操作概念方法，便于使用。
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