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    包郵 關(guān)注:486

    微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)（臺(tái)階儀）ET150K31

    庫(kù)       存：

    10

    產(chǎn)       地：

    全國(guó)

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付
     微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)（臺(tái)階儀）
    Step Height Measuring System
    ET150K31

    KOSAKA SE 500-59表面粗糙度測(cè)定機(jī)是一款KOSAKA新推出的經(jīng)濟(jì)型便攜式臺(tái)式兩用機(jī)型。根據(jù)您的需求任意組合，并可對(duì)多種零件表面的粗糙度，波紋度以及原始輪廓進(jìn)行多參數(shù)評(píng)定，是一款帶有專用控制器的高精度，高性能，表面粗糙度測(cè)量?jī)x器，簡(jiǎn)單操作，顯示一目了然。


    ET150K31 組合



    產(chǎn)品特性

    · 設(shè)備主體花崗巖，低熱膨脹，低重心，自隔震

    · 獨(dú)家專利的直動(dòng)式傳感器設(shè)計(jì)

    · Z方向重復(fù)性1σ 0.2nm以內(nèi),但實(shí)際可達(dá)0.1nm

    · Z方向線性度為±0.25% （樣品厚度＞ 2000A）；5A （樣品厚度≤2000A）

    · 樣品臺(tái)的垂直直線度保證：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm

    · 高精度的X方向位移光柵尺控制，X方向最大測(cè)量長(zhǎng)度100mm，Y方向最大移動(dòng)150mm

    · 自帶三維測(cè)量功能

    ET150K31的結(jié)構(gòu)


    花崗巖低重心設(shè)計(jì)


    極佳重復(fù)性與線性度

    采用直動(dòng)式檢測(cè)方式
    可避免圓弧補(bǔ)正誤差
    可避免Bearing間隙誤差
    臺(tái)階測(cè)定重復(fù)性：1σ 0.2nm以內(nèi),但實(shí)際可達(dá)0.1nm
    Z方向線性度為±0.25% （樣品厚度＞ 2000A）；5A （樣品厚度≤2000A）


    直動(dòng)式檢出器構(gòu)造


    重復(fù)測(cè)量數(shù)據(jù) (10 times)


    直動(dòng)式檢出器測(cè)量邊沿效應(yīng)


    直動(dòng)式檢出器測(cè)量邊沿效應(yīng)

    線性度
    Vertical linearity（垂直線性度） : ±0.25% （樣品厚度＞ 2000A）；5A （樣品厚度≤2000A）
    線性度計(jì)算公式： 誤差范圍 / Z方向測(cè)量范圍
    測(cè)量設(shè)備型號(hào) : ET-150系列
    測(cè)試樣品為 :VLSI 和TAYLOR HOBSON 認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)樣品
    Taylor Hobson Step Height Mean Value : (2.454 ± 0.030)um
    VLSI Step Height Mean Value : (946.8 ± 5.6) nm
    VLSI Step Height Mean Value : (41.6 ± 0.7) nm

    Taylor Hobson 標(biāo)準(zhǔn)樣


    VLSI SHS-9400QC


    VLSI SHS-440QC


    高分辨率

    縱軸最高分辨率0.1nm

    橫軸最高分辨率0.1um
    X測(cè)定速度可調(diào)：5μm~2mm/s

    可測(cè)量超薄樣品、高深寬比樣品、多層臺(tái)階等


    超高垂直直線度

    垂直直線度：任何直線垂直方向上的偏移量稱為垂直直線度

    可追溯性：通過(guò)ISO9000國(guó)際認(rèn)證，可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ，產(chǎn)品出廠皆有出廠測(cè)試認(rèn)證報(bào)告

    超高垂直直線度精度保證：
    局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm

    可測(cè)定樣品的平面度、波紋度、翹曲度、內(nèi)應(yīng)力

    超高垂直直線度的優(yōu)勢(shì)


    超高直線度國(guó)際認(rèn)證數(shù)據(jù)


    位移光柵尺與時(shí)間取樣


    ET150K31絕佳的設(shè)計(jì)，達(dá)到最佳的測(cè)量效果

    設(shè)備主體花崗巖，低熱膨脹，低重心，自隔震
    ·最佳的測(cè)量穩(wěn)定性和設(shè)備穩(wěn)定、耐用性

    直動(dòng)式檢測(cè)器
    ·最佳的測(cè)量重復(fù)性&線性度，確保各樣品臺(tái)階測(cè)量的精度、準(zhǔn)確度

    樣品臺(tái)超高的垂直直線度保證
    ·進(jìn)一步提高臺(tái)階測(cè)量精度，確保樣品形狀不變形

    樣品臺(tái)X方向光柵尺定位，最長(zhǎng)測(cè)量距離100mm，最快測(cè)量速度5μm/s
    ·樣品周期性結(jié)構(gòu)不失真，長(zhǎng)距離有利于測(cè)定多種國(guó)際參數(shù)

    實(shí)時(shí)監(jiān)控測(cè)量位置

    配備標(biāo)準(zhǔn)CCD：實(shí)時(shí)監(jiān)控測(cè)量位置

    可選購(gòu)TOP VIEW CCD，執(zhí)行高精度定位量測(cè)

    形狀及粗度解析

    粗度規(guī)范對(duì)應(yīng)：可對(duì)應(yīng)各種國(guó)際新舊標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范，測(cè)量參數(shù)多達(dá)60種

    可測(cè)量臺(tái)階及傾斜度

    超大測(cè)定力范圍
    測(cè)定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意設(shè)定 可測(cè)定軟質(zhì)材料面，如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等

    觸針保護(hù)蓋板及方便更換
     



     


     


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